在半导体制程中，Shower Head（淋喷头）是等离子体蚀刻机（Plasma Etcher）或化学气相沉积机（CVD）中常见的重要元件之一，其名称来自于它的外型与功能类似浴室的淋浴头。
虽然外观看起来酷似淋浴花洒，但Shower Head的价格却高达十万以上。其高昂成本的根本原因，正是源自于极为严苛的加工要求──表面分布着数以千计的微孔，不仅对孔径精度与一致性提出极高标准，同时对孔内壁的光洁度和无瑕疵程度也有近乎苛刻的要求。
Shower Head，蕴藏商机却对制程要求严苛
在晶圆反应过程中，气体扩散板表面密布微孔（孔径0.2-6 mm），特种制程气体需经过精密设计的孔道结构及气体路径，再经过气体扩散板上成千上万个小孔后均匀沉积在晶圆表面，晶圆不同区域的膜层需确保高度均匀性和一致性。
因此，气体扩散板除了对洁净度、耐腐蚀性有极高要求外，对气体扩散板上的小孔孔径一致性、小孔内壁毛刺也有严苛要求，如孔径尺寸公差和一致性标准差过大或任一内壁存在毛刺，则会导致沉积膜层厚度不一，进而直接影响设备制造良率。
微小径钻头专家ATOM，以极致精密挑战微孔加工难题
如何实现Shower Head这一高阶半导体细分领域关键元件的极致微孔加工需求？
微小径钻头专家—日本ATOM，专为Shower Head（铝合金材质）等极致微孔加工挑战推出两大高性能系列产品，助力半导体相关领域高效突破微孔加工挑战！
1、定点引导钻NC：精准定位，从「孔」开始
使用ATOM定點鑽加工效果从上图可以清楚看到，在未使用 ATOM-NC定点钻的情况下，直径 1.6mm的加工中出现了明显的表面振动和同心度偏移；而使用ATOM定点钻后则显著改善。别看只是一个小小的预定位步骤，却直接关系到后续微孔加工的稳定性与精度，忽略它，甚至可能导致整件工件报废，造成不必要的损失。
2、类钻涂层钻头DLC：耐磨护刃，效率提升
（1）采用亮光涂层技术(DLC Shine Coating)，具备超高硬度（sp³值高达60GPa），显著延长刀具寿命。
（2）低摩擦系数的超薄涂层，有效防止切屑黏附，降低切削阻力，提升排屑效果。
（3）最小径Ø0.1至Ø1.0，每隔Ø0.01mm一个标准规格。
（4）适用于铝合金、铜等非铁金属材质。
ATOM也可客制化中心出水钻头，您只需告知孔径、深度及加工工件材质等资讯，我们将为您提供最适合的解决方案！应用于Shower Head加工时，ATOM微钻能大幅提升排屑效率，同时显著改善孔壁粗糙度，达到更光滑的加工表面。
经过反覆验证，ATOM两大系列凭借卓越的耐磨性能和超长刀具寿命，即使在大批量微孔加工中，也能保持极低的刀具磨损，确保微孔孔径一致性高，加工表面光洁度优异，充分满足铝合金材质Shower Head对极致加工品质的严苛要求。
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东莞瑞霆、上海阜霆、台北岳崴：以世界顶尖技术，协助精密孔加工再升级
东莞瑞霆、上海阜霆、台北岳崴是日本ATOM品牌在中国及台湾地区的总代理，专注于高品质微小径刀具的推广与服务。依托ATOM原厂强大的制造与品控能力，以及东莞瑞霆、上海阜霆在物流供货与技术支援方面的优势，现可提供包括标准钻头ADR、标准涂层钻头ADR-SV、定点钻NC、去屑钻头ASWR/ASW D、类钻石涂层钻头ADR-DLC、同柄径钻头ADS以及十字槽系列钻头SXG等多个系列在内的丰富产品线，全面满足各类高精密微孔加工需求，协助客户实现加工品质与效率的双重提升。
现货供应：
高效率交货：
在半导体高端制造迈向更高品质的今天，Shower Head作为关键零件，其微孔加工品质已成为影响整体制程良率的关键因素。
东莞瑞霆、上海阜霆、台北岳崴 携手日本ATOM以极致微钻技术，共同为半导体产业提供更稳定、更有效率的微孔加工解决方案，透过持续深耕微小径刀具技术，协助更多先进制造场景实现从「可加工」到「优加工」的跨越。
【国际半导体展｜SEMICON Taiwan 2025展会资讯】
展览时间：2025年9月10日 ~ 2025年9月12日
展览地点：台北南港展览馆2馆1楼(台北市南港区经贸二路2号)
台北岳崴展位：Q5737
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